Ar 85L/S AR de Varian Ion Pump Convenient Operation 420L/S do vácuo alto

Bomba de Iões, 3L-400C, DN150CF, Ar de 420L / s, Ar de 85L / s, -5KV

A bomba Sputter-ion é um equipamento de geração de vácuo para a obtenção de vácuo limpo e ultra-alto. A bomba de íon funciona em um sistema fechado que não requer uma bomba de apoio contínua.

Vantagens:

Esta série de bombas possui vantagens como limpeza, alto grau de vácuo, ruído zero, zero vibração e conveniência na operação.

Aplicações:

A bomba de iões de pulverização é a principal bomba de óleo menos vácuo ultra-alta, e pode ser aplicada a aparelhos de experimentação científica tais como acelerador de partículas de alta energia, aparelhos de reação termonucleares controlados, dispositivo de vácuo elétrico, material semicondutor, microscópio eletrônico e massa espectrômetro e outros equipamentos industriais que exigem vácuo ultra-alto.

Princípio:

Material do ânodo é barril de aço inoxidável e material de placa de istitânio catódico. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.

A bomba de íon de tríodo é aprimorada para aumentar a taxa de bombeamento do gás inerte; íons de gás inerte são submetidos à incidência de pastoreio em grade de titânio do cátodo, então neutralizados, e refletidos para a parede da bomba e ânodo para serem enterrados com o filme de titânio. Como o gás inerte enterrado na parede da bomba não será liberado devido ao bombardeamento iônico positivo, a velocidade de bombeamento do gás inerte é aumentada.

Especificações: