KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Instrumentos científicos da inovação

Tornar-se empresas de primeira classe

Casa ProdutosBomba de Turbomolecular

Consumo da baixa potência da bomba ISO-K/CF de Turbomolecular da lubrificação de Maglev

Certificado
China KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Certificações
China KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Certificações
Estou Chat Online Agora

Consumo da baixa potência da bomba ISO-K/CF de Turbomolecular da lubrificação de Maglev

large.img.alt
small.img.alt

Imagem Grande :  Consumo da baixa potência da bomba ISO-K/CF de Turbomolecular da lubrificação de Maglev

Detalhes do produto:
Lugar de origem: China
Marca: KYKY
Certificação: CE
Número do modelo: CXF-200/1400E
Condições de Pagamento e Envio:
Quantidade de ordem mínima: 1
Preço: Upon request
Detalhes da embalagem: Caixa de madeira para a expedição ultramarina
Tempo de entrega: 4weeks
Termos de pagamento: T/T, L/C
Descrição de produto detalhada
Flange: ISO-K/CF DN200 Refrigerar: Água
Lubrificação: Maglev Velocidade de bombeamento: N2 1400L/s
Realçar:

bombas moleculars do turbocompressor

,

bomba de vácuo turbomolecular

Bomba Maglev, CXF-200/1400, Refrigeração a Água, ISO-K / CF, Controlador Externo

As bombas moleculares levitam magneticamente são as bombas das quais o shafting é suportado em virtude da força magnética.

As bombas moleculares levitativamente magnetizadas da série são equipamentos de geração de vácuo desenvolvidos pela KYKY para atender aos requisitos de aplicação para campos de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

Tecnologias:

  • Tecnologia de controle para mancais magnéticos: um sistema de 5 eixos levitado magneticamente, com base na avançada teoria de controle internacional, para garantir vantagens tão significativas dos eixos de alta velocidade como operação estável levitada e confiável.
  • Tecnologia de controle de acionamento motorizado: motor DC de alta eficiência e servocontrole de alta eficiência, com potência máxima do motor e para compensar automaticamente a velocidade de rotação do eixo, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função de regulagem automática da energia dinâmica .
  • Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono: Fabricado por uma liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. Caracteriza-se por grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de modo que são atingidos alvos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
  • Tecnologia de resistência à corrosão: Superfícies de peças em câmaras são tratadas com processo especial, de modo que as superfícies podem resistir à corrosão causada por gases corrosivos em processos de fabricação de semicondutores por um longo tempo. Além disso, gases inertes, como o N2, são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as peças de baixo vácuo nas bombas, de modo que a função de gases corrosivos de exaustão estável por longos períodos é realizada.
  • Sistema de controle de temperatura de aquecimento: equipado com aquecedor elétrico e controlador de temperatura, água de resfriamento, aquecimento ósseo, aquecimento elétrico e calor transportado por gases de proteção, pode ser monitorado e controlado durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor para a longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não depositadas nas bombas, e os requisitos para o processo especial de gravação podem ser cumpridos.

As vantagens:

1. zero de atrito durante a operação, e baixo consumo de energia

2. Fácil adquirir vácuo alto realmente limpo e vácuo ultra alto sem lubrificação para bombas

3. Capaz de extrair gases corrosivos para longo prazo

4. alta segurança e longa vida útil devido à proteção de rolamentos com esferas de cerâmica de precisão

5. função de geração de energia em caso de desligamento repentino

6. Livre de atrito

7. Livre de poluição

8. Livre de manutenção

9. Baixa vibração

10. instalado em qualquer orientação.

Aplicações:

Extracção de gases corrosivos existentes em etch, CVD, PVD e implantação iónica e gases facilmente coagulados à temperatura normal em campos de produção de semicondutores, fabrico de clips, revestimento industrial e instrumentos científicos,.

Especificações:

Flange (In) DN200 CF / ISO-K, ISO-F
Flange (para fora) KF DN40
Velocidade de bombeamento (L / s) N 2 : 1400
Ar: 1360
Ele: 880
H 2 : 560
Taxa de compressão N 2 : 10 8
Ar: 10 8
Ele: 10 4
H 2 : 10 3
Pressão final (Pa) CF: 1 × 10 -6
ISO-K / F: 6 × 10 -6
Max. Pressão contínua contra o vácuo (Pa) 100
Max. Pressão de vácuo N 2 : 210
Gás ao longo (sccm) N 2 : 2700
Ar: 980
Ele: 2000
H 2 : 1800
Velocidade de rotação (rpm) 30000
Tempo de Partida (min) ≤8
Tipo de resfriamento, padrão agua
Consumo de Água de Resfriamento (L / min) 1
Temperatura da Água de Arrefecimento (℃) 20
Conexão de energia: tensão (V AC) 220
Modelo do Controlador CXF-1400
Peso (kgs) 50 (ISO-K / F) 52 (CF)

Contacto
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Pessoa de Contato: sales

Telefone: +8613810212935

Envie sua pergunta diretamente para nós (0 / 3000)