Taxa crescente de aço inoxidável do bombeamento de gás inerte do íon da bomba do salpico do Triode de -5KV

Bomba de Iões, 3L-25, DN35CF, 21L / s Ar, 6L / s Ar, -5KV, 7E-8Pa

A bomba Sputter-ion é um equipamento de geração de vácuo para a obtenção de vácuo limpo e ultra-alto.

A bomba de iões de pulverização é a bomba principal do conjunto de vácuo ultra-alto.

A bomba de iões funciona num sistema fechado que não requer uma bomba de trabalho contínua.

Princípio:

Material do ânodo é barril de aço inoxidável e material de placa de istitânio catódico. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.

A bomba de íon de tríodo é aprimorada para aumentar a taxa de bombeamento do gás inerte; íons de gás inerte são submetidos à incidência de pastoreio em grade de titânio do cátodo, então neutralizados, e refletidos para a parede da bomba e ânodo para serem enterrados com o filme de titânio. Como o gás inerte enterrado na parede da bomba não será liberado devido ao bombardeamento iônico positivo, a velocidade de bombeamento do gás inerte é aumentada.

Vantagens:

Esta série de bombas possui vantagens como limpeza, alto grau de vácuo, ruído zero, zero vibração e conveniência na operação.

Aplicações:

As principais aplicações são os aparelhos de experimentos científicos nas áreas de acelerador de partículas de alta energia, aparelhos de reação termonuclear controlados, dispositivo de vácuo elétrico, material semicondutor, microscópio eletrônico e espectrômetro de massa, e outros equipamentos industriais que exigem vácuo ultra-alto.

Especificações: