-5KV Triode Sputter Pump Ion Aço inoxidável Aumentar a taxa de bombeamento de gás inerte

Bomba de íons, 3L-25, DN35CF, 21L/s Ar, 6L/s Ar, -5KV, 7E-8Pa

A bomba de íons catódicos é um equipamento de geração de vácuo para obter vácuo limpo e ultra-alto.

A bomba de íons catódicos é a bomba principal do conjunto de vácuo ultra-alto sem óleo.

A bomba de íons funciona em um sistema fechado que não requer bomba de apoio de trabalho contínuo.

Princípio:

O material do ânodo é o cilindro de aço inoxidável e o material da placa de titânio do cátodo. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.

A bomba de íons triodo foi aprimorada para aumentar a taxa de bombeamento de gás inerte; íons de gás inerte são submetidos à incidência pastosa na grade de titânio do cátodo, depois neutralizados e refletidos na parede da bomba e no ânodo para serem enterrados com o filme de titânio. Como o gás inerte enterrado na parede da bomba não será liberado devido ao bombardeio de íons positivos, a velocidade de bombeamento do gás inerte é aumentada.

Vantagens:

Esta série de bombas tem vantagens como limpeza, alto grau de vácuo, ruído zero, vibração zero e conveniência na operação.

Aplicações:

As principais aplicações são aparelhos de experimentos científicos nas áreas de acelerador de partículas de alta energia, aparelhos de reação termonuclear controlada, dispositivo elétrico de vácuo, material semicondutor, microscópio eletrônico e espectrômetro de massa e outros equipamentos industriais que requerem vácuo ultra-alto.

Especificações: