Detalhes do produto:
Condições de Pagamento e Envio:
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Lubrificação: | Maglev | Flange: | ISO-K/CF |
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refrigerar: | Água | Velocidade de bombeamento: | N2 2300L/s |
Realçar: | bombas moleculars do turbocompressor,bomba de vácuo turbomolecular |
Bomba Maglev, CXF-250/2300, ISO-K / CF, Refrigeração a água, Controlador Externo
As bombas moleculares levitam magneticamente são as bombas das quais o shafting é suportado em virtude da força magnética, atendendo aos requisitos de aplicação para campos de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.
Tecnologias:
As vantagens:
Esta bomba tem vantagens, tais como zero atrito durante a operação e baixo consumo de energia, fácil de adquirir muito limpo alto vácuo e ultrahigh vácuo sem lubrificação para bombas, capaz de extrair gases corrosivos para longo prazo, alta segurança e longa vida útil devido à proteção de rolamentos com esferas cerâmicas de precisão e função de geração de energia em caso de desligamento repentino. Tem vantagens como livre de atrito, poluição e manutenção e com baixa vibração, e pode ser instalado em qualquer orientação.
Aplicações:
Extração de gases corrosivos existentes em etch, CVD, PVD e implante de íons e gases facilmente coagulados em temperatura normal nos campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, chapeamento industrial e instrumentos científicos.
Especificação:
Flange (In) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Flange (para fora) KF | DN40 |
Velocidade de bombeamento (L / s) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Ele: 1900 | |
H 2 : 850 | |
Taxa de compressão | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Ele: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Pressão final (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Pressão contínua contra o vácuo (Pa) | 60 |
Max. Pressão de vácuo | N 2 : 250 |
Gás ao longo (sccm) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Ele: 2800 | |
H 2 : 2100 | |
Velocidade de rotação (rpm) | 27000 |
Tempo de Partida (min) | ≤11 |
Tipo de resfriamento, padrão | agua |
Consumo de Água de Resfriamento (L / min) | 1 |
Temperatura da Água de Arrefecimento (℃) | 20 |
Conexão de energia: tensão (V AC) | 220 |
Modelo do Controlador | CXF-2300 |
Peso (kgs) | 59 (ISO-K / F) 62 (CF) |
Pessoa de Contato: sales
Telefone: +8613810212935