Detalhes do produto:
Condições de Pagamento e Envio:
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Flange: | ISO-K/CF | refrigerar: | água |
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Controlador: | A bordo | Pressão final: | CF: 1E-6, ISO-K/F: 6E-6 |
Realçar: | bombas moleculars do turbocompressor,bomba de vácuo turbomolecular |
Maglev Pump, CXF-250 / 2301E, Refrigeração a água, a bordo
As bombas moleculares levitam magneticamente são as bombas das quais o shafting é suportado em virtude da força magnética.
As bombas moleculares levitativamente magnetizadas da série são equipamentos de geração de vácuo desenvolvidos pela KYKY para atender aos requisitos de aplicação para campos de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.
Tecnologias:
Aplicações:
Bombas moleculares levitadas magneticamente são aplicadas principalmente em campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, chapeamento industrial e instrumentos científicos, especialmente para a extração de gases corrosivos existentes em etch, CVD, PVD e implantação iônica e gases facilmente coagulados em temperatura normal.
Especificações:
Flange (In) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Flange (para fora) KF | DN40 |
Velocidade de bombeamento (L / s) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Ele: 1900 | |
H 2 : 850 | |
Taxa de compressão | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Ele: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Pressão final (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Pressão contínua contra o vácuo (Pa) | 60 |
Max. Pressão de vácuo | N 2 : 250 |
Gás ao longo (sccm) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Ele: 2800 | |
H 2 : 2100 | |
Velocidade de rotação (rpm) | 27000 |
Tempo de Partida (min) | ≤11 |
Tipo de resfriamento, padrão | agua |
Consumo de Água de Resfriamento (L / min) | 1 |
Temperatura da Água de Arrefecimento (℃) | 20 |
Conexão de energia: tensão (V AC) | 220 |
Pessoa de Contato: sales
Telefone: +8613810212935