O CE final da pressão do Pa da flange 7E-8 da bomba de vácuo DN150CF do íon de KYKY aprovou

Bomba de íons, 3L-100, DN150CF, 110L/s Ar, 24L/s Ar, -5KV, 2.7E-8Pa

A bomba de íons catódicos é um equipamento de geração de vácuo para obter vácuo limpo e ultra-alto. A bomba de íons catódicos é a bomba principal do conjunto de vácuo ultra-alto sem óleo. A bomba de íons funciona em um sistema fechado que não requer bomba de apoio de trabalho contínuo.

Princípio:

O material do ânodo é o cilindro de aço inoxidável e o material da placa de titânio do cátodo. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.

A bomba de íons triodo foi aprimorada para aumentar a taxa de bombeamento de gás inerte; íons de gás inerte são submetidos à incidência pastosa na grade de titânio do cátodo, depois neutralizados e refletidos na parede da bomba e no ânodo para serem enterrados com o filme de titânio. Como o gás inerte enterrado na parede da bomba não será liberado devido ao bombardeio de íons positivos, a velocidade de bombeamento do gás inerte é aumentada.

Vantagens:

Esta série de bombas tem vantagens como limpeza, alto grau de vácuo, ruído zero, vibração zero e conveniência na operação.

Aplicações:

1. Acelerador de partículas de alta energia

2. Aparelho de reação termonuclear controlada

3. Dispositivo elétrico de vácuo

4. Material semicondutor

5. Microscópio eletrônico

6. Espectrômetro de massa

Especificações: