Bomba de íons variável de alto vácuo Operação conveniente 420L/S Ar de ar 85L/S

Bomba de íons, 3L-400C, DN150CF, ar 420L/s, 85L/s Ar, -5KV

A bomba de íons sputter é um equipamento de geração de vácuo para obter vácuo limpo e ultra-alto. A bomba de íons funciona em um sistema fechado que não requer bomba de apoio de trabalho contínuo.

Vantagens:

Esta série de bombas tem vantagens como limpeza, alto grau de vácuo, ruído zero, vibração zero e conveniência na operação.

Aplicações:

A bomba de íons catódicos é a bomba principal do conjunto de vácuo ultra-alto sem óleo e pode ser aplicada a aparelhos de experimentos científicos, como acelerador de partículas de alta energia, aparelho de reação termonuclear controlada, dispositivo elétrico de vácuo, material semicondutor, microscópio eletrônico e espectrômetro de massa e outros equipamentos industriais que requerem vácuo ultra-alto.

Princípio:

O material do ânodo é o cilindro de aço inoxidável e o material da placa de titânio do cátodo. O processo de descarga Penning ioniza o gás sob a ação conjunta do campo magnético e do campo elétrico, realizando assim a exaustão do gás.

A bomba de íons triodo foi aprimorada para aumentar a taxa de bombeamento de gás inerte; íons de gás inerte são submetidos à incidência pastosa na grade de titânio do cátodo, depois neutralizados e refletidos na parede da bomba e no ânodo para serem enterrados com o filme de titânio. Como o gás inerte enterrado na parede da bomba não será liberado devido ao bombardeio de íons positivos, a velocidade de bombeamento do gás inerte é aumentada.

Especificações: