Movimentação externo do motor refrigerar de água da bomba de vácuo de Maglev Pump Turbo do controlador

Bomba Maglev, CXF-250/2300, ISO-K / CF, Refrigeração a água, Controlador Externo

As bombas moleculares levitam magneticamente são as bombas das quais o shafting é suportado em virtude da força magnética, atendendo aos requisitos de aplicação para campos de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

Tecnologias:

• Tecnologia de controle para mancais magnéticos: um sistema de 5 eixos levitado magneticamente, com base na avançada teoria de controle internacional, para garantir vantagens tão significativas dos eixos de alta velocidade como operação estável levitada e confiável.
• Tecnologia de controle de acionamento motorizado: motor DC de alta eficiência e servocontrole de alta eficiência, com potência máxima do motor e para compensar automaticamente a velocidade de rotação do eixo, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função de regulagem automática da energia dinâmica .
• Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono: Fabricado por uma liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. Caracteriza-se por grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de modo que são atingidos alvos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
• Tecnologia de resistência à corrosão: Superfícies de peças em câmaras são tratadas com processo especial, de modo que as superfícies podem resistir à corrosão causada por gases corrosivos em processos de fabricação de semicondutores por um longo tempo. Além disso, gases inertes, como o N2, são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as peças de baixo vácuo nas bombas, de modo que a função de gases corrosivos de exaustão estável por longos períodos é realizada.
• Sistema de controle de temperatura de aquecimento: equipado com aquecedor elétrico e controlador de temperatura, água de resfriamento, aquecimento ósseo, aquecimento elétrico e calor transportado por gases de proteção, pode ser monitorado e controlado durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor para a longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não depositadas nas bombas, e os requisitos para o processo especial de gravação podem ser cumpridos.

As vantagens:

Esta bomba tem vantagens, tais como zero atrito durante a operação e baixo consumo de energia, fácil de adquirir muito limpo alto vácuo e ultrahigh vácuo sem lubrificação para bombas, capaz de extrair gases corrosivos para longo prazo, alta segurança e longa vida útil devido à proteção de rolamentos com esferas cerâmicas de precisão e função de geração de energia em caso de desligamento repentino. Tem vantagens como livre de atrito, poluição e manutenção e com baixa vibração, e pode ser instalado em qualquer orientação.

Aplicações:

Extração de gases corrosivos existentes em etch, CVD, PVD e implante de íons e gases facilmente coagulados em temperatura normal nos campos de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, chapeamento industrial e instrumentos científicos.

Especificação: